纳诺半导体完成数千万A1轮融资

  9月6日消息,图形晶圆光学缺陷检测设备制造商纳诺半导体完成数千万A1轮融资,本轮由水木创投领投,老股东英诺天使基金超额跟投,一苇资本担任长期独家财务顾问。本轮资金将用于技术研发、产品验证及产线量产扩充。

  据公开消息显示,合肥市纳诺半导体有限公司(以下简称“纳诺半导体”)成立于2021年9月,专注于半导体前道缺陷检测设备研发。创始人朱俊博士博士拥有20多年激光及检测设备产品开发和企业管理经验,曾是KLA的DF(图形晶圆暗场缺陷检测)产品研发负责人,领导团队成功开发了PUMA DF产品。公司成员50余人,超75%为技术人员,他们大多来自中科大、中科院等知名高校院所。

  2023年,纳诺首款暗场检测产品DF70的集成趋向完成,并为客户进行产品验证。据了解,我国暗场缺陷检测领域基本被KLA垄断,定位于图形晶圆暗场检测的DF70,对标KLA Voyager系列,使用深紫外DUV激光,可应用于12英寸先进制程产线,填补了国内厂商在先进制程领域的空白。

  朱俊博士表示,目前国内外不论是人员研发费用,还是材料成本投入,两者差距越来越小。DF70系列的优势在于,在KLA通过软件层面对设备灵敏度进行封锁,国内Voyager基本为阉割版的情势下,DF70系列可提供更加全面的半导体缺陷灵敏度检测,解决客户的后顾之忧。

  水木创投投资总监昌锋表示:水木创投专注于硬科技项目的早期投资与科技成果转化,已孵化出多家上市公司和独角兽企业。水木创投的投资着眼于突破核心卡脖子技术,在半导体产业链已有丰富的布局。伴随着工艺的先进化,半导体量检测设备的重要性越发重要。纳诺团队敢于攀登技术高峰,针对先进图形晶圆缺陷检测设备的研发及供应链国产化进展迅速,给我们留下了深刻的印象。期待纳诺不断前进,为半导体产业发展贡献更大的力量。

  英诺天使基金管理合伙人周全表示:半导体、新能源、新材料和智能制造是英诺在硬科技方向重点布局领域,其中在半导体领域进行了全产业链布局,几年前就布局了半导体前道设备。纳诺半导体团队拥有丰富和研发背景和研发经验,产品进展迅速,具备稀缺性。作为纳诺天使轮的投资方,我们持续支持纳诺的发展,解决中国半导体设备缺链补链问题。

  

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